Boron11 Trichloride Semiconductor Dopant Semiconductor Dry Getching
Εισαγωγή προϊόντος
Σε φυσιολογική θερμοκρασία και πίεση, το τριχλωρίδιο του βορίου (BCL 3 ) είναι άχρωμο αέριο καπνού, το οποίο είναι εύφλεκτο, πικάντικο, όξινη οσμή. Το τριχλωρίδιο του βορίου αποσυντίθεται σε υδροχλωρικό οξύ και βορικό οξύ και απελευθερώνει πολλή θερμότητα που συναντάται με νερό, παράγει καπνό σε υγρό αέρα λόγω υδρόλυσης και το BCL 3 αποσυντίθεται σε υδροχλωρικό οξύ και εστέρα βορικού οξέος στο αλκοόλ. Το τριχλωρίδιο του βορίου έχει ισχυρή ικανότητα αντίδρασης και μπορεί να σχηματίσει μια ποικιλία ενώσεων συντονισμού. Το τριχλωρίδιο του βορίου μπορεί να αντιδράσει με γυαλί και κεραμικό όταν θερμαίνεται και αντιδρά επίσης με πολλές οργανικές ενώσεις για να σχηματίσει μια ποικιλία ενώσεων οργανομανών. Το τριχλωρίδιο του Boron11 υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται κυρίως για τη διάχυση του ντόπινγκ στη διαδικασία κατασκευής των συσκευών ημιαγωγών (πυριτίου). Οι ακαθαρσίες βορίου παράγονται μέσω της αποσύνθεσης του BCL 3 και διάχυτων προς το πυρίτιο για να σχηματίσουν ημιαγωγό τύπου Ρ σε υψηλή θερμοκρασία. Το BCL 3 μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για ξηρή χάραξη των Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI και άλλων υλικών.
Προδιαγραφή ποιότητας
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Εφαρμογή
Το τριχλωρίδιο του βορίου μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παραγωγή υψηλού καθαρού βορίου, καταλύτη για οργανική σύνθεση, παράγοντα ροής για αποσύνθεση πυριτικού άλατος και χρησιμοποιείται επίσης ως πρόσθετο αποξειδωτικού, νιτρίδων και καρβιδίων σε διχώματα κράματος. Το υψηλό καθαρό τριχλωρίδιο βορίου11 χρησιμοποιείται κυρίως στη διάχυση, την εμφύτευση ιόντων, την ξηρή χάραξη και άλλες διεργασίες σε συσκευές ημιαγωγών και ολοκληρωμένο κύκλωμα.
Συσκευασία και αποθήκευση
Το τριχλωρίδιο Boron11 γεμίζει στον κύλινδρο. Ο κύλινδρος γεμάτος με τριχλωρίδιο βορονίου11 συμμορφώνεται με τις σχετικές διατάξεις του GB14193. Οι προδιαγραφές συσκευασίας περιλαμβάνουν 10L και 47L.Το προϊόν αποθηκεύεται σε μια σκιερή, ξηρή και αεριζόμενη αποθήκη κάτω από 60 ℃ . Απαγορεύεται να εκθέτετε στον ήλιο και να απομακρύνεται από τις πηγές θερμότητας. Το πακέτο πρέπει να σφραγιστεί και θα πρέπει να αποθηκεύεται ξεχωριστά με αλκαλικά και άλλα επικίνδυνα άρθρα.
Contact Now
